由于SF6氣體監(jiān)測具有優(yōu)越的絕緣性能、滅弧性能和散熱性能,自20世紀(jì)60年代早期,SF6氣體監(jiān)測就被應(yīng)用在電力輸配電系統(tǒng)的高壓設(shè)備中,20世紀(jì)80年代早期,出現(xiàn)了第一臺用SF6氣體絕緣的中壓開關(guān)設(shè)備。目前SF6氣體監(jiān)測在高壓領(lǐng)域主要應(yīng)用于斷路器、GIS組合電器和復(fù)合開關(guān),以SF6氣體為絕緣的設(shè)備中高壓、超高壓占絕對主導(dǎo)地位。在中壓領(lǐng)域,主要應(yīng)用在以SF6氣體監(jiān)測絕緣的高壓開關(guān)成套設(shè)備(C—GIS、充氣環(huán)網(wǎng)柜)、斷路器及負(fù)荷開關(guān)等中。除用于高壓開關(guān)設(shè)備外,SF6氣體也開始向中高壓輸變電設(shè)備中的互感器、電容器、避雷器、熔斷器、氣體絕緣輸電管道和變壓器等領(lǐng)域發(fā)展。
　　目前從12～1000kV的所有電壓等級的電力設(shè)備都在廣泛使用。中壓領(lǐng)域雖仍以真空開關(guān)為主,但以SF6氣體監(jiān)測絕緣的設(shè)備增加很快。由于SF6氣體監(jiān)測的應(yīng)用范圍的擴(kuò)大,對環(huán)境的影響在世界范圍內(nèi)引起廣泛關(guān)注。2005年2月16日,旨在限制并減少全球溫室氣體排放的《京都議定書》正式生效,并規(guī)定發(fā)達(dá)國家應(yīng)減少排放總量。SF6氣體監(jiān)測是《京都議定書》中規(guī)定的限制排放的六種溫室氣體之一,SF6氣體監(jiān)測向大氣的排放主要是通過電力輸變電設(shè)備在試驗研究、生產(chǎn)制造、運(yùn)輸和運(yùn)行以及檢修過程中產(chǎn)生的。如何趨利避害,安全使用SF6氣體監(jiān)測已引起國內(nèi)多方關(guān)注。